一种合金拼接靶

摘要

一种合金拼接靶，涉及一种镀膜技术，基片对应靶材的不同成分位置分层摆放，其特征在于合金拼接靶由高合金半靶和低合金半靶拼接在一起，构成一个整体平面溅射靶：两个半靶分别加工出台阶，然后搭接一起。本发明结构简单，一块拼接合金靶、一次溅射实验便可以在基片上方便、快捷的制备不同成分的合金膜，且经济适用。

主权项

一种合金拼接靶，基片对应靶材的不同成分位置分层摆放，其特征在于，根据要获得的合金膜的成分确定合金靶的组元，两个组元或三个组元；一个组元作为合金基体，另一个或两个组元作为合金元素，分别炼制含合金元素低的合金靶半块(A)，含合金元素高的合金靶半块(B)，将两个半靶加工成厚度相等，且一端有其一半厚度的台阶，然后将两个半块靶拼接成一个整体合金靶。