| 发明名称 | 一种半导体芯片结染色溶液 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体芯片结染色溶液，属于半导体芯片制作领域，为解决目前对轻掺杂结染色效果不显著而发明。所述溶液包括：三氧化铬为7～10、氢氟酸为116～122、水为120～150；其中，所述组分配比为质量分数比。本发明半导体芯片结染色溶液可用于半导体芯片生产。 | ||
| 申请公布号 | CN102134492A | 申请公布日期 | 2011.07.27 |
| 申请号 | CN201010034531.4 | 申请日期 | 2010.01.21 |
| 申请人 | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 | 发明人 | 金波 |
| 分类号 | C09K13/08(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种半导体芯片结染色溶液，其特征在于：包括：三氧化铬为7～10、氢氟酸为116～122、水为120～150；其中，所述组分配比为质量分数比。 | ||
| 地址 | 100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦5层 | ||