量子阱长波红外探测器光栅波导微腔的光耦合单元

摘要

本发明公开了一种量子阱长波红外探测器光栅波导微腔的光耦合单元。其结构特点是采用金属背反射层、介质层、金属光栅的夹层结构。这种光耦合结构有如下优点：一、采用金属的阵列结构提高了入射光的耦合效率。二、光场被局域在金属光栅层和金属背反射层之间的微小空间内传播，从而大大提高了量子阱层的电场强度。三、采用类似于微带天线结构使得垂直电场分量在纵向方向上具有很好的均匀性。四、金属结构不仅是光耦合单元，同时还充当上下电极。五、易于制备，适合做大面阵光敏元。

主权项

一种量子阱长波红外探测器光栅波导微腔的光耦合单元，它由在量子阱的下电极N‑GaAs层背面沉积的金属反射层和上电极N‑GaAs层上面沉积、刻蚀的金属耦合亚波长结构构成，其特征在于：所述的金属反射层为金属金反射层；所述的金属耦合亚波长结构是金属光栅结构。