一种改进的直拉单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种改进的直拉单晶炉，结构中包括炉壁、紧贴炉壁内侧设置的侧壁碳毡和紧贴侧壁碳毡内侧设置的保温筒，在炉体内部设置有坩埚和对坩埚进行加热的石墨加热器，坩埚上部设置有热屏，热屏上部设置有导流筒，热屏和导流筒均呈倒圆台形。本实用新型能够在降低加热器功耗、提高拉晶速度的同时保证晶体产品的质量，降低单晶硅的制造成本。

主权项

一种改进的直拉单晶炉，结构中包括炉壁（1）、紧贴炉壁（1）内侧设置的侧壁碳毡（2）和紧贴侧壁碳毡（2）内侧设置的保温筒（3），在炉体内部设置有坩埚（5）和对坩埚（5）进行加热的石墨加热器（6），坩埚（5）上部设置有热屏（7），其特征在于：所述热屏（7）呈倒圆台形。