发明名称 电化学电极抛光装置
摘要 本发明公开了一种电化学电极抛光装置,包括抛光盘(1),其特征在于所述抛光盘(1)外侧设置驱动装置(2)和夹紧电化学电极的夹紧装置(3),所述驱动装置(2)驱动抛光盘(1)旋转,所述电极在夹紧装置的带动下与抛光盘表面接触抛光。该装置避免了现有技术中常见的对电化学电极进行手工抛光作业,通过合理调整抛光液、抛光粉、转速等,提高了抛光精度,使电极产品质量稳定可靠。另外还可以通过检测装置进行实时扫描抛光表面。
申请公布号 CN101758448B 申请公布日期 2011.07.27
申请号 CN200910266729.2 申请日期 2009.12.30
申请人 东南大学 发明人 朱纪军;张微微;孙姝婧;顾忠泽
分类号 B24B29/04(2006.01)I 主分类号 B24B29/04(2006.01)I
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人 范晴
主权项 一种电化学电极抛光装置,包括抛光盘(1),其特征在于所述抛光盘(1)外侧设置驱动装置(2)和夹紧电化学电极的夹紧装置(3),所述驱动装置(2)驱动抛光盘(1)旋转,所述电极在夹紧装置的带动下与抛光盘表面接触抛光;所述夹紧装置(3)外侧设置有检测装置(4),所述检测装置包括检测平台(41)、设置在检测平台下端的产生白光干涉的干涉装置(42)和支撑件(44),所述干涉装置(42)与检测平台(41)间设置基准件(43);所述检测平台(41)、干涉装置(42)固定在支撑件(44)上,所述支撑件(44)上端通过滑臂(45)连接夹紧装置(3)。
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