一种用于溅镀机台的承载台

摘要

一种用于溅镀机台的承载台其包括：至少一中空管状结构，该至少一中空管状结构包括两端部及位于该两端部之间的中间部，该中间部为吸热部，该两端部至少之一者为冷却部，该两端部分别具有第一齿牙，该至少一中空管状结构用于套设待镀膜的元件；一中空载具，该中空载具上设置有第二齿牙，该至少一中空管状结构的两端部的第一齿牙与该第二齿牙相啮合，该中空载具内通有冷却流体，该冷却流体用于吸收该至少一中空管状结构的冷却部传递的热量；一驱动装置，其用于驱动该至少一中空管状结构沿该中空载具的第二齿牙的排列方向运动。镀膜时，待镀膜的元件上的热量会通过中空管状结构传导至该中空载具从而防止待镀膜的元件上的温度过高进而对其造成损伤。

主权项

一种用于溅镀机台的承载台，其包括： 至少一中空管状结构，该至少一中空管状结构包括两端部及位于该两端部之间的中间部，该中间部为吸热部，该两端部至少之一者为冷却部，该两端部分别具有第一齿牙，该至少一中空管状结构用于套设待镀膜的元件； 一中空载具，该中空载具上设置有第二齿牙，该至少一中空管状结构的两端部的第一齿牙与该第二齿牙相啮合，该中空载具内通有冷却流体，该冷却流体用于吸收该至少一中空管状结构的冷却部传递的热量； 一驱动装置，其用于驱动该至少一中空管状结构沿该中空载具的第二齿牙的排列方向运动。