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发明名称 METHOD FOR CLEANING A VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 KR20110084519(A) 申请公布日期 2011.07.25
申请号 KR20117012203 申请日期 2009.10.27
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH;OERLIKON SOLAR AG, TRUBBACH 发明人 KANNEN INGO;GOETTLICH HAGEN;SCHNEIDER STEFAN
分类号 B08B3/08;B08B9/00;F04C29/00 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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