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发明名称
摘要
申请公布号
KR101050679(B1)
申请公布日期
2011.07.22
申请号
KR20040034749
申请日期
2004.05.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;H01L21/306;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/316
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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