喷雾狭缝式之基板清洗装置

主权项

一种喷雾狭缝式之基板清洗装置，其系其包含有一雾化装置，该雾化装置之内至少具有一第一流体腔室、一第二流体腔室、一分流室及一雾化作用室，该第一流体腔室与该第二流体腔室系为分隔设置且互不连通，该第一流体腔室及第二流体腔室皆设于该雾化作用室之上，该第一流体腔室具有至少一个气体注入部，该至少一个气体注入部可接设一气体供给管，该第一流体腔室与该雾化作用室之间设置有一第一流通道，该第二流体腔室具有至少一个液体注入部，该至少一个液体注入部可接设一液体供给管，该第二流体腔室与该分流室之间设有一第二流通道，其中该分流室与该雾化作用室之间设置有复数个分流孔，该雾化作用室之底端则连通于一排出通道，该排出通道的底端出口系为一喷出口。依据申请专利范围第1项所述之喷雾狭缝式之基板清洗装置，其中该雾化装置进一步设置有一中置室，该中置室系位于该第一流体腔室与该雾化作用室之间，且该中置室与该第一流通道相连通。