| 主权项 |
一种TFT阵列检查装置，其根据电子射线于TFT阵列上进行二维扫描所获得的检测波形而检测TFT缺陷，该TFT阵列检查装置之特征在于包括：缺陷种类分类部，该缺陷种类分类部对使用基准波形而检测出的TFT缺陷的种类进行分类；上述缺陷种类分类部包括：缺陷波形检测部，根据检测波形来检测缺陷；缺陷种类判别部，判别已由上述缺陷波形检测部检出缺陷的波形的缺陷种类；以及基准波形记忆部，记忆上述缺陷波形检测部及缺陷种类判别部各自所使用的基准波形；且上述缺陷波形检测部及缺陷种类判别部使用上述各基准波形作为基准来进行波形比较；上述基准波形记忆部，记忆着正规波形以作为上述缺陷波形检测部所使用的基准波形，且记忆着藉由检查缺陷种类为已知的缺陷标准基板而获取的缺陷波形，以作为缺陷种类判别部所使用的基准波形，上述缺陷波形检测部，藉由对检测波形与上述正规波形进行波形比较，而检测波形的缺陷，上述缺陷种类判别部，藉由对已由上述缺陷波形检测部检出缺陷的波形与上述缺陷波形进行波形比较，而对缺陷种类进行分类。 |
