| 主权项 |
一种摄像元件，其系对在支撑于基板上的初始层之表面中形成为相邻的隆起部及沟部层积包含微透镜的透镜材料膜，并且包含与支撑于上述隆起部上之各个微透镜对应之受光部，其中具有不同宽度之复数之上述沟部系使上述宽度之大小关系交互地相异而并列，具有小宽度之沟部及支撑于与上述沟部相邻之隆起部上之微透镜之周缘系重叠于相对于初始层之表面之垂直方向上，具有大宽度之沟部之周缘及支撑于与上述沟部相邻之隆起部上之微透镜之周缘系重叠。如请求项1之摄像元件，其中在与使上述宽度之大小关系交互地相异而并列之沟部之并列方向不同之方向上，进而并列有具有不同宽度之沟部。一种摄像元件，其系对在支撑于基板上的初始层之表面中形成为相邻的隆起部及沟部层积包含微透镜的透镜材料膜，并且包含与支撑于上述隆起部上之各个微透镜对应之受光部，其中在宽度相互不同之上述沟部中，以具有小宽度之沟部为第一沟部，以具有大宽度之沟部为第二沟部，则上述第一沟部在一方向上并列，而上述第二沟部在与该一方向不同之方向上并列，上述第一沟部及支撑于与上述第一沟部相邻之隆起部上之微透镜之周缘系重叠于相对于初始层之表面之垂直方向上，上述第二沟部之周缘及支撑于与上述第二沟部相邻之隆起部上之微透镜之周缘系重叠。如请求项1至3中任一项之摄像元件，其中上述微透镜藉由热将支撑于上述隆起部上之透镜材料膜之部分熔化而沿着上述沟部之侧壁流入沟部内，藉此改变形状。如请求项1至3中任一项之摄像元件，其中上述透镜材料膜系为丙烯酸系有机材料制。一种摄像元件之制造方法，上述摄像元件包含使用透镜材料膜形成之微透镜，及接受藉由该微透镜聚集之光之受光部，上述透镜材料膜系在支撑于基板上的初始层之表面中形成为相邻的隆起部及沟部之中，支撑于隆起部上；上述制造方法中使具有如以下(1)之宽度之上述沟部及具有如以下(2)之上述沟部以上述宽度之大小关系交互地相异之方式而并列；且至少包含：微透镜形成步骤，其系藉由热将支撑于上述隆起部上之透镜材料膜熔化，使透镜材料膜之部分沿上述沟部之侧壁流入沟部内，藉此改变支撑于隆起部上之透镜材料膜之形状，而产生微透镜；(1)沟部之小宽度，其系设定为在相对于初始层之表面之垂直方向上，使沟部本身与支撑于与上述沟部相邻之隆起部上之微透镜之周缘重叠；(2)沟部之大宽度，其系设定为使沟部本身之周缘与支撑于与上述沟部相邻之隆起部上之微透镜之周缘重叠。如请求项6之摄像元件之制造方法，其中在与以上述宽度之大小关系交互地相异之方式而并列之沟部之并列方向不同之方向上，进而并列有具有不同宽度之沟部。一种摄像元件之制造方法，上述摄像元件包含使用透镜材料膜形成之微透镜，及接受藉由该微透镜聚集之光之受光部，上述透镜材料膜系在支撑于基板上的初始层之表面中形成为相邻的隆起部及沟部之中，支撑于隆起部上；上述制造方法中以具有如以下(3)之宽度之上述沟部为第一沟部，以具有如以下(4)之宽度之上述沟部为第二沟部，使上述第一沟部在一方向上并列，而上述第二沟部在与上述一方向不同之方向上并列，且至少包含：微透镜形成步骤，其系藉由热将支撑于上述隆起部上之透镜材料膜熔化，使透镜材料膜之部分沿上述沟部之侧壁流入沟部内，藉此改变支撑于隆起部上之透镜材料膜之形状，而产生微透镜；(3)上述第一沟部之宽度，其系设定为在相对于初始层之表面之垂直方向上，使第一沟部与支撑于与上述第一沟部相邻之隆起部上之微透镜之周缘重叠；(4)上述第二沟部之宽度，其系设定为使第二沟部之周缘与支撑于与上述第二沟部相邻之隆起部上之微透镜之周缘重叠。如请求项6至8中任一项之摄像元件之制造方法，其中使用丙烯酸系有机材料制之上述透镜材料膜。如请求项6至8中任一项之摄像元件之制造方法，其中支撑于上述隆起部上之透镜材料膜系在经过上述微透镜形成步骤前所进行之以下(5)至(7)之步骤后而产生；(5)透镜材料膜形成步骤，其系在支撑于上述基板上之初始层上涂布透镜材料，藉此形成膜；(6)移除沟形成步骤，其系在上述透镜材料膜上形成移除沟；(7)沟部形成步骤，其系将具有上述移除沟之透镜材料膜作为图案遮罩进行蚀刻，藉此在上述初始层上形成对应于移除沟之沟部。如请求项6至8中任一项之摄像元件之制造方法，其中在上述微透镜形成步骤中，上述沟部之宽度系设定为：使上述流入之透镜材料膜沿沟部之侧壁朝沟部底面之中心流入，使停留在上述底面之中心之透镜材料膜之厚度小于停留在上述底面之外缘之透镜材料膜之厚度。如请求项6至8中任一项之摄像元件之制造方法，其中在上述初始层中之复数之上述沟部之深度之大小系与沟部之宽度之大小成比例而不同。如请求项6至8中任一项之摄像元件之制造方法，其中在上述初始层中之复数之上述沟部之深度系设定为复数种种类。如请求项6至8中任一项之摄像元件之制造方法，其中在上述初始层中之复数之上述沟部之体积系设定为复数种种类。如请求项6至8中任一项之摄像元件之制造方法，其中使上述沟部之开口面之外缘朝隆起部之表面之中心延伸，藉此使上述开口面之外缘与支撑于上述隆起部上之透镜材料膜之周缘不重叠。 |
