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一种光感测元件之污染杂质检测装置，其中，该光感测元件具有一光感测器、设有复数导接该光感测器之接点的电路基板、及与该电路基板共同形成一包封该光感测器之腔体的透光封盖，该检测装置包含：一供电性连接该待测光感测元件复数接点的测试座；一供以复数相异相对立体角度至少部分涵盖并照射该测试座位置之平行光源，该平行光源系为五个不同方向的平行光源，其中一道为垂直照射光源，另两道平行光源为X轴方向，以角度+θ、-θ角方向照射，再两道平行光源为Y轴方向，以角度+θ、-θ角方向照射；及一控制该平行光源、并电连接该等接点而接收来自该光感测元件检测讯号之处理装置；藉此，获得污染杂质相对该待测元件之正确位置。依申请专利范围第1项所述光感测元件之污染杂质检测装置，其中该平行光源包括一雷射元件。依申请专利范围第2项所述光感测元件之污染杂质检测装置，其中该平行光源更包括一使该雷射元件所发光束在被照射至该测试座前，系被扩散为一具大幅照面之平行光束的扩散透镜组。依申请专利范围第2项所述光感测元件之污染杂质检测装置，更包含一驱动该雷射元件变换位置之驱动装置。依申请专利范围第1项所述光感测元件之污染杂质检测装置，其中该平行光源包括复数所发光束方向分别与该测试座夹相异立体角度之发光元件。依申请专利范围第1项所述光感测元件之污染杂质检测装置，更包括一驱动该测试座相对该平行光源运动，致使该平行光源系可以至少二相异相对立体角度照射至该测试座之驱动装置。一种光感测元件之污染杂质检测方法，系利用一检测装置检测位于该光感测元件处之污染杂质，其中，该光感测元件具有一光感测器、设有复数导接该光感测器之接点的电路基板、及与该电路基板共同形成一包封该光感测器之腔体的透光封盖，且该检测装置包含：一供电性连接该待测光感测元件复数接点的测试座、一组五个不同方向的平行光源、及一处理装置，该检测方法包含下列步骤：a)经该测试座致能该待测光感测元件；b)驱动该平行光源以一第一预定相对立体角度投射光束至该待测光感测元件具有该透光封盖侧；c)驱动该平行光源以一相异于该第一预定相对立体角度之第二预定相对立体角度投射光束至该待测光感测元件；及d)以该处理装置接收步骤b)及c)中，来自该待测光感测元件经该测试座传输之测得讯号。依申请专利范围第7项所述之污染杂质检测方法，更包含于该步骤d)后之运算步骤e)，处理该等讯号而得该污染杂质相对该待测光感测元件之相对位置。依申请专利范围第8项所述之污染杂质检测方法，更包含于该步骤e)后之分类步骤f)，以该处理装置区别该污染杂质系位于该透光封盖外、或位于该腔体内者。 |
