| 主权项 |
一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，包括：一光源装置，包含提供一平行光束；一分光镜，与光源装置相对应，以供将光源装置所发出的平行光束分做穿透光与反射光，或接收准直透镜之光束；一准直透镜，其位于分光镜之反射光一侧之光路中，以将输入之反射光转成准直平行的光束，或接收聚焦透镜之光束；一聚焦透镜，与准直透镜相对应，以将光束聚焦于反射体表面，形成光点，或接收反射体之光再透过聚焦透镜转换而以接近平行方式前进，使该光束再穿透该准直透镜；一反射体，位于该聚焦透镜之路径上；一光栅，系配置于光源装置之平行光束放射侧，提高光源装置所放出之平行光束之指向性而入射于分光镜者；一四分之一波片，与分光镜之反射方位相对应，以改变反射光的偏振，或接收准直透镜之光束；一圆柱透镜，系供接收四分之一波片入射于分光镜之穿透光；一光检测器，主要是由像散模式以及光点模式来判读计算反射体与光检测器之间的光束信号是否完成锁焦动作，或其光束强度经过准直透镜其像散后的变化量是否平均分布至光检测器。如申请专利范围第b>1/b>项所述之一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，其中该光源为投射一具有方向性之平行光束。如申请专利范围第b>1/b>项所述之一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，其中该分光镜可将光束之穿透光入射至圆柱透镜。如申请专利范围第b>1/b>项所述之一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，其中该聚焦透镜可将经过准直透镜后所产生的正交像散光点聚集成适当的距离。如申请专利范围第b>1/b>项所述之一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，其中该反射体用以将该光束偏折或反射至该聚焦透镜上。如申请专利范围第b>1/b>项所述之一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，其中该聚焦透镜与该反射体之间更形成有一量测区。如申请专利范围第b>1/b>项所述之一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，其中该量测区可置入一透明体。如申请专利范围第b>1/b>项所述之一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，其中该光检测器可为四等分之光点位置感测器或四等分之光电二极体。如申请专利范围第b>1/b>项所述之一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置，其中之光检测器可依据下式计算该光点之对焦误差讯号(FES)、X轴角度讯号(X)与Y轴角度讯号(Y)：FES=(A+C)-(B+D)；X=(A+D)-(B+C)；Y=(A+B)-(C+D)；其中，A、B、C与D为光检测器之第1象限、第2象限、第3象限及第4象限其光检测器经电流转换成电压之输出讯号。一种应用于透明体与反射体间之平行量测方法，包括下列步骤：步骤A，首先由光源装置之雷射二极体发射平行光束至光栅，并经由光栅入射于分光镜，并经由四分之一波片、准直透镜将光束准直射出并入射于聚焦透镜，并由聚焦透镜将光束聚焦于反射体上，并由反射体反射依原光路入射至聚焦透镜、准直透镜、四分之一波片、分光镜，并由分光镜将光束入射于圆柱透镜并聚焦在光检测器上，并进而执行步骤B；步骤B，检测反射体、光束以及光检测器是否平行，且其光强度是否平均分布至光检测器上，若光点形式呈现圆形焦点，接续执行步骤D，若光点形式呈现椭圆形焦点，则进而执行步骤C；步骤C，若反射体、光束以及光检测器不平行时，可由光点之像散模式以及光点模式来判读是否完成锁焦动作，并进而执行步骤D；步骤D，当锁焦动作完成后，在反射体与光检测器上之间平行度的量测区域置入一透明体，并进而执行步骤E；步骤E，当透明体并不平行于反射体与光检测器之间，存在一角度误差时，中间之光检测器所接收到光强度已偏离轴心，会呈现椭圆光点，且在光检测器四个象限所接收到的光讯号不对称，藉由调整透明体的平行度，对准至光点对称中心点，则完成调平的动作。 |
