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Referenzleckvorrichtung (1) zur Verwendung bei der Leckdetektion von Gas, wobei die Vorrichtung eine Membran (5) aufweist, die so ausgelegt ist, dass sie zwischen zwei Umgebungen mit dem Druck pu bzw. mit dem Druck pd eingefüngt wird, wobei pu >> pd, wobei die Membran einen Durchlass (6) aufweist, der dazu ausgelegt ist, eine kontrollierte Gasströmung in Abhängigkeit vom Druck pu festzulegen, wobei die Vorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, dass der Durchlass einen vorgegebenen Durchmesser D und eine vorgegebene Länge L aufweist, so dass L < 20·D, und dass der Durchmesser D und die Länge L ferner auf eine solche Weise dimensioniert sind, dass der äquivalente Durchmesser De des Durchlasses De ≤ 100 nm ist, wobei De durch die Beziehung De = D·a1/2 definiert ist, wobei a die Durchlasswahrscheinlichkeit des Durchlasses, eine Funktion des L/D-Verhältnisses, ist, wobei der Durchlass dazu ausgelegt ist, im Molekularströmungsbereich in einem ganzen Bereich von pu-Werten zu arbeiten,...
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