CLOSED LOOP METHOD FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE FROM METALLURGICAL SILICON

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein mehrstufiges Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan und Siliciumtetrachlorid aus metallurgischem Silicium, bei dem in einem ersten Schritt Trichlorsilan und Siliciumtetrachlorid aus metallurgischem Silicium hergestellt wird und in einem zweiten Schritt das Siliciumtetrachlorid zum Endprodukt Trichlorsilan weiterverarbeitet wird. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner eine Anlage, in der solche Verfahren integriert durchgeführt werden können.