一种研究金属薄膜断裂性能的方法

摘要

本发明涉及力学性能测试技术领域，一种研究金属薄膜断裂性能的方法，取衬底(2)为脆性材料，同一组衬底(2)的尺寸相同，长宽比不小于2∶1，衬底(2)的厚度与薄膜(1)的厚度之比不小于100∶1；衬底(2)非薄膜生长面的中间预设一条缺口(2a)，衬底(2)在薄膜(1)生长前正反面清洗干净，去除油污灰尘，并保证用于生长薄膜(1)的衬底(2)面的表面平整光滑；在不改变衬底(2)形状和性能的条件下，以适用的方式在衬底(2)上生长薄膜(1)；在衬底(2)两端各去除部分薄膜(1)，作为夹持和载荷作用区域，施加静载荷直至衬底(2)断裂；在保持断面完整无污染条件下，以适用的电镜微观分析。本发明降低了基体和夹层之间变形的失配；具有动载荷，变形断裂速度快，且能够使薄膜沿特定方向断裂的特点。

主权项

一种研究金属薄膜断裂性能的方法，其特征在于：取薄膜生长的衬底(2)为脆性材料，同一组测试样品衬底(2)的尺寸相同，衬底(2)的长宽比应不小于2∶1，衬底(2)的厚度与薄膜(1)的厚度之比不小于100∶1；衬底(2)非薄膜生长面的中间预设一条缺口(2a)，缺口(2a)尺寸相对于衬底(2)尺寸可忽略，同一组测试样品制备缺口(2a)的工艺及参数完全一致；衬底(2)在薄膜(1)生长前正反面清洗干净，去除油污灰尘，并保证用于生长薄膜(1)的衬底(2)面的表面平整光滑；在不改变衬底(2)形状和性能的条件下，以适用的方式在衬底(2)上生长薄膜(1)；在衬底(2)两端各去除部分薄膜(1)，作为夹持和载荷作用区域，施加静载荷直至衬底(2)断裂；在保持断面完整无污染条件下，以适用的电镜微观分析。