发明名称 |
激光曝光刀具及基于激光的立体直接曝光成像方法 |
摘要 |
本发明公开了一种激光曝光刀具及基于激光的立体直接曝光成像方法,所采用的激光曝光刀具包括外部壳体以及安装在外部壳体内的控制电路板、激光器、准直镜头、光阑和聚焦镜头;控制电路板上设置有对激光器进行驱动控制的驱动控制器、外部壳体形状与数控机床上所安装刀具的刀柄形状相同,驱动控制器与数控机床控制主机相接;其立体直接曝光成像方法包括以下步骤:一、工件外表面测量与加工图形设计;二、工件外表面处理;三、掩模图形设计;四、工件安装;五、激光曝光刀具安装;六、设备连接;七、曝光成像;八、工件表面后续处理。本发明设计合理、投入成本低、操作简便且使用效果好、应用范围广,能解决传统化学蚀刻方法存在的多种实际问题。 |
申请公布号 |
CN102126082A |
申请公布日期 |
2011.07.20 |
申请号 |
CN201010604662.1 |
申请日期 |
2010.12.24 |
申请人 |
陈乃奇;中国电子科技集团公司第二十研究所 |
发明人 |
陈乃奇;马鸿炜;聂延平 |
分类号 |
B23K26/08(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I |
主分类号 |
B23K26/08(2006.01)I |
代理机构 |
西安创知专利事务所 61213 |
代理人 |
谭文琰 |
主权项 |
一种激光曝光刀具,其特征在于:包括前端部开口的外部壳体、安装在所述外部壳体内的控制电路板(1)、用于产生激光光束的激光器(2)、对激光器(2)所产生激光光束进行准直的准直镜头(3)、对经准直镜头(3)准直后的激光光束强弱进行控制调整的光阑(4)和安装在所述外部壳体前端部开口上的聚焦镜头(5),所述准直镜头(3)、光阑(4)和聚焦镜头(5)均布设在激光器(2)所产生激光光束的投射方向上,且激光器(2)、准直镜头(3)、光阑(4)和聚焦镜头(5)由后至前布设在同一直线上,所述激光器(2)、准直镜头(3)和光阑(4)均布设在所述外部壳体内部;所述控制电路板(1)上设置有对激光器(2)进行驱动控制的驱动控制器(1‑1)、与驱动控制器(1‑1)相接的控制信号输入接口(1‑3)和对各用电单元进行供电的电源模块(1‑4),所述电源模块(1‑4)与驱动控制器(1‑1)相接;所述外部壳体的形状与数控机床上所安装刀具的刀柄形状相同;所述外部壳体安装在数控机床的刀具驱动主轴上;所述驱动控制器(1‑1)通过控制信号输入接口(1‑3)与所述数控机床的控制主机(7)相接。 |
地址 |
710071 陕西省西安市友谊西路127号西北工业大学北村5-1-302 |