发明名称 | 在图案化晶片上的可控结合波 | ||
摘要 | 结合两个衬底的方法包括:在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件;在分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下,对第一衬底施加压力,以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波;和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心,控制结合波的移动。 | ||
申请公布号 | CN102126701A | 申请公布日期 | 2011.07.20 |
申请号 | CN201110009499.9 | 申请日期 | 2011.01.12 |
申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 史蒂夫·戴明;陈振方;迈克尔·罗基奥;胡戈·J·米勒 |
分类号 | B81C3/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C3/00(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 陈平 |
主权项 | 一种结合两个衬底的方法,所述方法包括:在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件;在所述分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下,对第一衬底施加压力,以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波;和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心,控制所述结合波的移动。 | ||
地址 | 日本国东京都 |