发明名称 在图案化晶片上的可控结合波
摘要 结合两个衬底的方法包括:在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件;在分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下,对第一衬底施加压力,以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波;和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心,控制结合波的移动。
申请公布号 CN102126701A 申请公布日期 2011.07.20
申请号 CN201110009499.9 申请日期 2011.01.12
申请人 富士胶片株式会社 发明人 史蒂夫·戴明;陈振方;迈克尔·罗基奥;胡戈·J·米勒
分类号 B81C3/00(2006.01)I 主分类号 B81C3/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 陈平
主权项 一种结合两个衬底的方法,所述方法包括:在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件;在所述分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下,对第一衬底施加压力,以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波;和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心,控制所述结合波的移动。
地址 日本国东京都