基于粘附的双稳态加速度感应微开关

摘要

本发明公开了一种基于粘附的双稳态加速度感应微开关，它属于微电子元器件领域，主要解决现有微开关的“误关”和“瞬态闭合”问题。该微开关包括感应质量块(34)、支撑梁(35)和框架(32)，支撑梁的两端固定在框架上，框架的上下面分别固定有上顶盖(31)和下底盖(33)，质量块与上顶盖之间的距离控制在0.1～1μm之间，质量块(34)的下部沉积金膜形成动极板(36)，下底盖内侧沉积金膜形成定极板(38)，动极板上设有两个半球形状结构触点(37)。“开”状态时，质量块(34)与上顶盖(31)紧贴，“关”状态时，质量块(34)与下底盖(33)紧贴。本发明具有抗干扰性强，稳态导通的优点，可用于汽车安全气囊、防抱死系统及家用电器触发领域。

主权项

一种基于粘附的双稳态加速度感应微开关，包括感应质量块(34)、支撑梁(35)和框架(32)，支撑梁的两端固定在框架上，其特征在于框架(32)的上、下面分别固定有上顶盖(31)和下底盖(33)，感应质量块(34)与上顶盖(31)之间的距离h为0.1μm≤h≤1μm，感应质量块(34)的下部沉积有金膜形成动极板(36)，下底盖(33)内侧沉积有金膜形成定极板(38)。