透镜面形偏差检测装置及其方法

摘要

透镜面形偏差检测装置及其方法，涉及小型球面干涉仪。分光器正下方设置的扩束整形装置、检测光源、分光器正右方的光学样板、正左方的观察接收屏、分光器正上方的定位圈口、待测透镜组成，定位圈口管状体上端面固定有三个钢球，扩束整形装置的光束的中心轴线与光学样板的光轴相交于分光器的接和面上，观察接收屏垂直于光学样板的光轴。优点在于：先给定位圈口定位再作检测，光学样板代替价格昂贵的标准镜头产生干涉的参考波前，实现对透镜球面曲率半径的测量，不能长导轨快速无损非接触在线检测。定位圈口的钢球使透镜基准面或待测面处于同一个三角形的几何中心垂线上，定位后，待测透镜时不用进行再调节就可以得到干涉条纹，提高了检测效率。

主权项

透镜面形偏差检测装置，包括接和面镀有半透半反膜的分光器1，其特征在于：定位固定的分光器1正下方设置的定位固定的扩束整形装置3、扩束整形装置3正下方的定位固定的检测光源4、分光器1正右方的定位固定的光学样板2、分光器1正左方的观察接收屏5、分光器1正上方的定位圈口7、定位圈口7上方设置的待测透镜14组成，定位圈口7为短管状体，管状体上端面均布固定有三个相同的钢球，扩束整形装置3的光束的中心轴线与光学样板2的光轴相交于分光器1的接和面上，观察接收屏5垂直于光学样板2的光轴。