发明名称 | 降低物品内部有害气体浓度的方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种降低物品内部有害气体浓度的方法,将所述物品放置在存储柜内,所述物品的表面设有扩散其内部有害气体的孔,所述方法包括:对所述密闭的存储柜内空间充入第一气体,使该存储柜内空间气压从第一压力值提高至第二压力值,再排出所述存储柜内空间的气体,所述第二压力值P2高于第一压力值。进一步地,所述存储柜具有一个或多个进气口和出气口;对所述存储柜内空间充入第一气体之前,密封所述包含物品的存储柜的出气口。使用本发明的方法能够有效地降低存储柜中储存的物品内部的有害气体浓度,有效地提高了物品的使用寿命和存放周期。 | ||
申请公布号 | CN102125922A | 申请公布日期 | 2011.07.20 |
申请号 | CN201010022889.5 | 申请日期 | 2010.01.14 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 邓若岩;金普楠 |
分类号 | B08B17/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B17/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人 | 董巍;顾珊 |
主权项 | 一种降低物品内部有害气体浓度的方法,其特征在于,将所述物品放置在存储柜内,所述物品的表面设有扩散其内部有害气体的孔,所述方法包括:对所述密闭的存储柜内空间充入第一气体,使该存储柜内空间的气压从第一压力值提高至第二压力值,再排出所述存储柜内空间的气体,所述第二压力值高于第一压力值。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |