简易镜座式大口径高速压电振镜

摘要

本实用新型公开了一种简易镜座式大口径高速压电振镜，包括镜面、镜座、柔性头、驱动器、位置传感器和底座，其中镜面无应力粘结在镜座之上，镜座下方与柔性头相连，驱动器下端固定于底座之上，驱动器上端粘有柔性头，位置传感器固定于底座中部上方同时位于镜座下方，用于感知镜面的实际转角位置，驱动器为压电堆驱动器，并且有一对，分别安装在镜座的两侧，工作时互做反方向运动，镜座分为弹性结构和刚性结构，刚性结构位于镜面下方并直接与镜面粘接，弹性结构与柔性头相连。本实用新型的压电堆驱动器具有大的负载能力和快速响应能力，能实现高速振镜的大通光口径、高工作频率、较大转角范围等要求，弹性结构和刚性结构非常简单。

主权项

一种简易镜座式大口径高速压电振镜，包括镜面(1)、镜座(2)、柔性头(3)、驱动器、位置传感器(5)和底座(6)，其中镜面(1)无应力粘结在镜座(2)之上，镜座(2)下方与柔性头(3)相连，驱动器下端固定于底座(6)之上，驱动器上端粘有柔性头(3)，位置传感器(5)固定于底座(6)中部上方同时位于镜座(2)下方，用于感知镜面(1)的实际转角位置，其特征在于：所述的驱动器为压电堆驱动器(4)，并且有一对，分别安装在镜座(2)的两侧，工作时互做反方向运动，形成与镜面(1)相同工作模式的外部激励力矩，使镜面(1)受迫振动；而镜座(2)分为弹性结构(21)和刚性结构(20)，刚性结构(20)位于镜面(1)下方并直接与镜面(1)粘接，弹性结构(21)与柔性头(3)相连，弹性结构(21)为压电堆驱动器(4)提供预压力。