| 发明名称 | 一种密封结构以及制造这种密封结构的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种制造结构(1100)的方法，所述方法包括在衬底(101)上形成罩元件(401)，去除罩元件(401)下的衬底(101)的材料(103)，从而在罩元件(401)和衬底(101)之间形成间隙(802)，并重新布置罩元件(401)和/或衬底(101)的材料，从而合并罩元件(401)和衬底(101)，以桥接间隙(802)。 | ||
| 申请公布号 | CN101535171B | 申请公布日期 | 2011.07.20 |
| 申请号 | CN200780042891.5 | 申请日期 | 2007.11.15 |
| 申请人 | NXP股份有限公司 | 发明人 | 约翰内斯·东科尔斯;埃尔文·海曾;菲利普·默尼耶-贝亚尔;格哈德·科普斯 |
| 分类号 | H01L21/56(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种制造结构(1100)的方法，所述方法包括：在衬底(101)上形成罩元件(401)；去除所述衬底(101)和所述罩元件(401)之间的邻接区域中的材料(103)，从而形成所述罩元件(401)和所述衬底(101)之间的间隙(802)；重新布置所述罩元件(401)和/或所述衬底(101)的材料，从而合并所述罩元件(401)和所述衬底(101)，以桥接所述间隙(802)，其中，重新布置材料指的是以不通过另外提供材料闭合间隙、而以衬底和/或罩元件的材料的迁移来自动闭合间隙的方式对结构进行处理，通过对所述结构(1100)进行热退火来重新布置材料。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||