发明名称 粘合剂注入装置
摘要 本发明提供一种用于将粘合剂注入到叠层基板之间的粘合剂注入装置,每个叠层具有相互面对的至少两个基板。粘合剂注入装置设有:盒,该盒容纳沿着这些基板的层叠方向布置的多叠层;以及粘合剂注入器,该粘合剂注入器在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内,以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠。将多叠层保持在该盒内使得将这些多叠层视为一个整体成为可能。通过在这些叠层容纳在该盒中时将该粘合剂注入到每个基板间空间内以使将粘合剂注入到每个基板间空间内的动作在时间上重叠,将粘合剂注入到多叠层内得到了简化,且能够减少注入所要求的时间。
申请公布号 CN102132376A 申请公布日期 2011.07.20
申请号 CN200980121309.3 申请日期 2009.04.07
申请人 株式会社岛津制作所 发明人 东正久;冈本英树;中尾荣作;冈本和也
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L25/07(2006.01)I;H01L25/18(2006.01)I;H01L27/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 党晓林;王小东
主权项 一种用于将粘合剂注入到叠层的基板之间的粘合剂注入装置,每个叠层具有相互面对的至少两个基板,所述粘合剂注入装置包括:盒,所述盒容纳多个所述叠层,这些叠层以所述基板的每一个的层叠方向布置;以及粘合剂注入器,所述粘合剂注入器在所述叠层容纳在所述盒中时将所述粘合剂注入到每个基板间空间内,以使将所述粘合剂注入到每个所述基板间空间内的动作在时间上重叠。
地址 日本京都府