一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构

摘要

一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程；由于高度尺寸较小，适用于对高度方向尺寸有一定限制的R轴空间结构。本发明的W轴差轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴差轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴差轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。

主权项

一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构，包括：外罩装配组合(1)、控制线路板焊接组合(2)、主动齿轮(3)、从动齿轮(4)、电机安装板(5)、上端轴承(6)、从动旋转轴(7)、基座盖板(8)、W轴伺服电机(9)、联接支撑块(10)、光电传感器(11)、光电传感器挡片(12)、阻尼橡胶垫(13)、基座线夹(14)、W轴机械手基座(15)、锁紧螺母(16)、下端轴承(17)、FORK组合(18)、旋转支架(19)；其特征在于：所述W轴差轴传动机构的W轴伺服电机(9)通过前端定位凸缘，安装于电机安装板(5)的定位止口上；联接支撑块(10)上端的定位凸起安装在电机安装板(5)底面的定位槽内；所述控制线路板(2)安装在装配外罩组合(1)的内底面上；所述光电传感器(11)安装在联接支撑块(10)的平面上；所述旋转支架(19)安装在从动旋转轴(7)的半圆平面上；光电传感器挡片(12)安装在从动旋转轴(7)的平面上；所述上端轴承(6)装于电机安装板(5)的轴承腔内；从动旋转轴(7)上端轴径穿过上端轴承(6)的内环，与之配合；所述主动齿轮(3)中心孔与W轴伺服电机(9)的电机轴相配合，以紧定螺钉将主动齿轮(3)固定在电机轴的侧平面上；从动齿轮(4)中心孔与的从动旋转轴(7)的相应轴径配合，以紧定螺钉将从动齿轮(4)固定在从动旋转轴(7)相应轴径的侧平面上；所述主动齿轮(3)与从动齿轮(4)完全啮合；所述下端轴承(17)装于基座盖板(8)的下端轴承腔内；所述从动旋转轴(7)的下端轴从下端轴承(17)的内环孔穿入，相应轴径与下端轴承(17)的内环相配合；所述从动旋转轴(7)最下端的螺纹部位安装锁紧螺母(16)；所述安装过程应使基座盖板(8)上表面的定位凸起与联接支撑块(10)的下表面定位槽相配合，以螺钉拧紧到位；所述基座线夹(14)安装在W轴机械手基座(15)的内底面上；阻尼橡胶垫(13)放入W轴机械手基座(15)的止口内；对正基座盖板(8)的下底面凸台，合装基座盖板(8)与W轴机械手基座(15)，并以螺钉拧紧；所述外罩装配组合(1)罩在基座盖板(8)上面的机构上，以螺钉拧紧；所述FORK组合(18)与旋转支架(19)的配合表面清理干净，在旋转支架(19)底面的环形槽内放入气路密封垫，对正旋转支架(19)与FORK组合(18)的气路通孔，以螺钉联接FORK组合(18)与旋转支架(19)。