用于气相淀积传送器组件中的碲化镉再生的系统和过程

摘要

本发明涉及用于气相淀积传送器组件中的碲化镉再生的系统和过程。一种用于在气相淀积设备中使用的传送器组件，在气相淀积设备中，升华原材料作为薄膜淀积在光电模块衬底上。该组件包括能在环状的循环路径中运动的传送器，该路径包括沿传送方向运动以携带衬底通过气相淀积设备的淀积区的上支脚。热源相对于环状的循环路径设置成在大体在衬底离开传送器所处的点之后的位置处加热传送器。热源将传送器加热到对升华来自传送器的原材料有效的温度。冷阱沿传送器的运动方向相对于环状的循环路径设置在热源下游，且保持在对于使由于加热传送器而产生的升华原材料镀到随冷阱构造的收集部件上有效的温度处。还提供了再生来自传送器构件的原材料的相关过程。

主权项

一种用于在气相淀积设备(60)中使用的传送器组件(100)，在所述气相淀积设备(60)中，升华源材料作为薄膜淀积在光电(PV)模块衬底(14)上，所述组件包括：传送器(102)，其可操作地设置在所述气相淀积设备(60)内，所述传送器能够在环状的循环路径中运动，所述环状的循环路径具有沿传送方向运动以携带衬底通过所述气相淀积设备的淀积区的上支脚；热源(118)，其相对于所述环状的循环路径设置成以便在沿着所述环状的循环路径的、大体在衬底离开所述传送器所处的点之后的位置处加热所述传送器，所述热源构造成以便将所述传送器加热到对升华来自所述传送器的源材料有效的温度；以及冷阱(122)，其沿着所述环状的循环路径而设置，并且可保持处于对使得由于加热所述传送器而产生的升华源材料镀到随所述冷阱构造的收集部件(130)上而言有效的温度。