发明名称 接触式非球面面形检验装置
摘要 本发明涉及一种接触式非球面面形检验装置,该装置包括计算机和激光跟踪仪;计算机利用激光跟踪仪测量的待测非球面上特征点的位置坐标及CAD模型上对应的特征点的位置坐标,通过坐标变换将待测非球面此时的物理坐标系与CAD模型的坐标系统一到同一坐标系;然后利用激光跟踪仪测得的统一坐标系下待测非球面上多点的位置坐标进行插值计算得到待测非球面上各点的位置坐标;最后分析求解得到统一坐标系下待测非球面上各点的坐标值与CAD数模上对应的各点坐标值之间的偏差,并对偏差数据进行拟合,得到待测非球面面形分布。本发明数据处理和数学运算简单,实验操作简单易行,检测成本很低,测试时间短,适用于非球面加工整个过程的面形检测。
申请公布号 CN102128599A 申请公布日期 2011.07.20
申请号 CN201010607342.1 申请日期 2010.12.27
申请人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明人 王孝坤;郑立功;张学军
分类号 G01B11/24(2006.01)I 主分类号 G01B11/24(2006.01)I
代理机构 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人 王淑秋
主权项 一种接触式非球面面形检验装置,其特征在于包括计算机(1)和激光跟踪仪(2);所述计算机(1)包括存储待测非球面CAD模型的装置(11)、坐标变换装置(12)、求解位置坐标的装置(13和求解待测非球面面形分布的装置(14;激光跟踪仪(2)首先测量待测非球面上特征点的位置坐标并将其传输给坐标变换装置(12),由坐标变换装置(12利用测量的待测非球面上特征点的位置坐标及CAD模型上对应的特征点的位置坐标,通过坐标变换求解得到待测非球面、CAD模型两个坐标系之间的平移量和旋转量,将待测非球面此时的物理坐标系与CAD模型的坐标系统一到同一坐标系;激光跟踪仪(2)测量在统一坐标系下待测非球面上多点的位置坐标并将其传输给求解位置坐标的装置(13),由求解位置坐标的装置(13)利用测得的统一坐标系下待测非球面上多点的位置坐标进行插值计算得到待测非球面上各点的位置坐标;求解待测非球面面形分布的装置(14)分析求解得到统一坐标系下待测非球面上各点的坐标值与CAD数模上对应的各点坐标值之间的偏差,并对偏差数据进行拟合,得到待测非球面面形分布。
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号