用于移动部件的系统和方法、光刻设备和器件制造方法

摘要

给出一种根据设定点分布图来移动部件的系统，该设定点分布图包括部件的多个目标状态，所述多个目标状态中的每个基本上在相应序列的目标时间之一处获得。该系统包括：根据设定点分布图移动部件的位移装置；包含前馈数据库的数据存储装置；信号产生部分，其被配置成识别对应于前馈数据库中条目的设定点分布图的多个时间段，并且访问条目以便构造前馈信号；以及前馈控制系统，用于通过参考由信号产生部分所构造的前馈信号来控制位移装置的操作。

主权项

一种被配置成根据设定点分布图移动部件的系统，该设定点分布图包括所述部件的多个目标状态，所述多个目标状态中的每个在相应序列的目标时间之一处获得，所述系统包括：位移装置，其被配置成根据所述设定点分布图移动所述部件；数据存储装置，其包括前馈数据库；信号发生器，其被配置成(a)识别对应于所述前馈数据库中条目的所述设定点分布图的多个时间段，以及(b)访问所述条目以便构造前馈信号；以及前馈控制系统，其被配置成基于由所述信号发生器构造的所述前馈信号来控制所述位移装置。