MOCVD反应器

摘要

本发明公开了一种MOCVD反应设备中的反应器，由气体导入口、反应腔和气体排出口三部分组合而成，包含一层流式MOCVD反应腔，其特征在于，该反应器包括两个基底托盘装置，相对平行设置于该反应腔的气流两侧。该MOCVD反应腔其一端设有气体导入口，另一端设有气体排出口，反应气体从该气体导入口进入该MOCVD反应腔流动到另一端从该气体排出口排出。本发明在相同的加工情况下，将气体的利用率提高了一倍，同时也将生产效率提高了一倍。不仅可用于气流横向流动的横式反应腔，也可以用于气流由边缘向中心流动及中心向边缘流动的反应腔类型。

主权项

一种MOCVD反应器，由气体导入口、反应腔和气体排出口三部分组合而成，包含一层流式MOCVD反应腔，其特征在于，该反应器包括两个基底托盘装置，相对平行设置于该反应腔的气流两侧。