半导体激光阵列快慢轴光束重排装置与制造方法

摘要

本发明公开了一种半导体激光阵列快慢轴光束重排装置与制造方法，属于激光技术应用领域。本发明利用了光以不同入射角通过相同厚度的平行平板后发生不同偏移量的原理，在激光光路传输过程中增加了具有多个小面的光学整形元件4和光学整形元件5。本发明装置不仅能够实现快慢轴光束质量的均匀化，而且通过改变以前依靠薄片波导传输的方式，进一步降低了光功率的损耗，提高了整形效率，特别适合大功率半导体激光光束整形，同时该发明装置具有结构更紧凑、无累积误差、装调方便等优点。

主权项

半导体激光阵列快慢轴光束重排装置，包括有半导体激光一维阵列(1)、快慢轴准直微透镜阵列(2)、慢轴扩束准直柱面镜组(6)和球面聚焦透镜(7)；其特征在于还包括有整形光学元件(4)和整形光学元件(5)；从半导体激光一维阵列(1)发出的激光，经过快慢轴准直微透镜阵列(2)对激光光束的快轴和慢轴都进行准直以后，入射到整形光学元件(4)，激光经过整形光学元件(4)后，激光光束以不同入射角入射到平行平板产生了不同的偏移，形成阶梯型分布传播，呈阶梯型分布传播的激光光束经过整形光学元件(5)后，形成沿竖直方向排列的光束，沿竖直方向排列的光束在慢轴方向尺寸小，发散角大，经过慢轴扩束准直柱面镜组(6)后，快轴和慢轴的尺寸和发散角接近相等，光斑形状为快慢轴均匀分布的矩形光斑，最后经过球面聚焦透镜(7)聚焦成均匀的点光斑。