光栅式杠杆结构触针位移传感器及测量方法

摘要

光栅式杠杆结构触针位移传感器及测量方法。触针式表面轮廓测量仪和表面形状测量仪是用触针扫描法测量工件表面二维形状的距离、角度、圆弧半径等参数的仪器，触针式传感器是表面轮廓测量仪和表面形状测量仪用来采集被测表面轮廓信息的重要部件。本产品其组成包括：传感器基体（1），所述的传感器基体装有回转轴（2）、传感器杠杆（3）、光栅读数头（4）和抬笔机构（5），所述的传感器杠杆前端连接测针架（7），所述的传感器杠杆的尾部圆弧面粘贴光栅尺（6），所述的传感器杠杆后端通过连接片连接阻尼器（8），所述的测针架通过测杆（9）连接测针（10），所述的测杆装有测力调整砝码（11）。本发明用于测量工件。

主权项

种光栅式杠杆结构触针位移传感器，其组成包括：传感器基体，其特征是：所述的传感器基体装有回转轴、传感器杠杆、光栅读数头和抬笔机构，所述的传感器杠杆前端连接测针架，所述的传感器杠杆的尾部圆弧面粘贴光栅尺，所述的传感器杠杆后端通过连接片连接阻尼器，所述的测针架通过测杆连接测针，所述的测杆装有测力调整砝码。