基材处理设备以及清洁该基材处理设备的方法

摘要

本发明提供一种基材处理设备和清洁该基材处理设备的方法。在该基材处理设备中，基材支撑件包括在其上安装基材的旋转头、转动连接件和供应溶液的供应管。该转动连接件接收由该供应管供应的溶液并将该溶液供应到该旋转头。该旋转头具有用于喷射该溶液的至少一个喷射孔，并在转动的同时轴向喷射该溶液。因此，基材支撑件可以向处理容器的内壁供应溶液，从而提高处理容器的清洁效率，并提高制造产率。

主权项

一种基材支撑件，其包括：在其上安装基材并沿一个方向转动的旋转头，所述旋转头设有侧向喷射流体的至少一个喷射孔；与所述旋转头连接的固定轴，用于支撑所述旋转头；设在所述固定轴内部的供应管，用于输送所述流体；以及与所述旋转头和所述固定轴连接的转动连接件，用于接收由所述供应管输送的所述流体并向所述喷射孔供应所述流体，其中所述转动连接件包括：固定在所述固定轴上的主体部，它包括至少一个供应孔，所述流体从所述供应管经所述供应孔流入；与所述旋转头连接并一起转动的转动部，所述转动部包括与所述固定轴连接并用于接收所述流体和排出所接收的流体的至少一个排出孔；以及置于所述转动部和所述主体部之间的至少一个轴承，用于连接所述转动部与所述主体部。