锌还原法制备高纯多晶硅的装置

摘要

本实用新型提供了一种锌还原法制备高纯多晶硅的装置，它包括通过管道顺序相连的锌熔化池、锌蒸汽稳定池、反应器、分离器、尾气管、第一尾气收集器和第二尾气收集器，在锌熔化池上连接有锌线进料管，在锌线进料管上连接有保护气进口管，在反应器上连接有SiCl4进料管，在分离器下方连接有多晶硅收集器。本实用新型中的主要设备采用来源广泛的石英玻璃材料制造，因而成本不高；配合外置的锌线进料系统、外置的四氯化硅进料系统、保护气系统和少量废气的处理系统，很好地保证了由高纯锌以气态形式还原四氯化硅来制取高纯多晶硅的工艺路线的实现，环保效益非常显著、运行经济成本低、操作方便，还具有连续不间断生产的优势。

主权项

一种锌还原法制备高纯多晶硅的装置，其特征在于：包括通过管道顺序相连的锌熔化池、锌蒸汽稳定池、反应器、分离器、尾气管、第一尾气收集器和第二尾气收集器，在锌熔化池上连接有锌线进料管，在锌线进料管上连接有保护气进口管，在反应器上连接有SiCl4进料管，在分离器下方连接有多晶硅收集器。