发明名称 |
镜头校验方法及系统 |
摘要 |
本发明提供镜头校验方法及系统,以提高校验效率及节约人力资源。该方法包括:获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息,采用待校验Camera检测待检测基元,得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息,获得调整参数信息,以及根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息,调整实际检测区域,使其与规定检测区域重合。 |
申请公布号 |
CN101685251B |
申请公布日期 |
2011.07.20 |
申请号 |
CN200810200271.6 |
申请日期 |
2008.09.23 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
吕秋玲;赵庆国;黄臣;高燕 |
分类号 |
G03B43/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
G03B43/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种镜头校验方法,其特征在于,包括:获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息,所述基元是封装前的集成电路;采用待校验镜头检测待检测基元,得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息;获得调整参数信息,所述获得调整参数信息具体包括:先获得待检测基元的规定检测区域所对应的校正特征参数信息;然后根据规定检测区域和实际检测区域各自的位置信息,和各自的校正特征参数信息,获得调整参数信息;根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息,调整实际检测区域,使其与规定检测区域重合。 |
地址 |
201203 上海市张江路18号 |