发明名称 |
一种用升华法制备氮化铝晶体的保温装置 |
摘要 |
本发明涉及一种用升华法制备氮化铝晶体的保温装置,它由带孔的氮化铝板、氮化铝圆环、氮化铝粉、有缝的钨环、钨片、圆筒组成。带孔的氮化铝板和氮化铝圆环均由氮化铝粉经压力成形后高温烧结而成,主要用于减少坩埚向上的热辐射以及对流损耗,同时方便坩埚温度的测量。氮化铝粉是该保温装置的主要材料,经过高温高纯氮气气氛下的预处理后,整个氮化铝粉烧结成一体,方便坩埚取放,且靠近坩埚的氮化铝粉转变成氮化铝多晶,耐高温能力增强。钨片和有缝钨环的配合使用,避免了坩埚底部对氮化铝粉的热传导和热辐射。该发明具有保温效果好、耐高温、不易引入杂质、操作方便、对人体危害小等优点。 |
申请公布号 |
CN101570889B |
申请公布日期 |
2011.07.20 |
申请号 |
CN200810083970.7 |
申请日期 |
2008.04.29 |
申请人 |
深圳大学 |
发明人 |
武红磊;郑瑞生 |
分类号 |
C30B23/00(2006.01)I;C30B29/38(2006.01)I |
主分类号 |
C30B23/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用升华法制备氮化铝晶体的保温装置,其特征在于:它由带孔的氮化铝圆板(1)、氮化铝圆环(2)、氮化铝粉(3)、有缝的钨环(5)、钨片(6)、圆筒(7)组成,该保温装置位于钨坩埚(4)的四周;在圆筒(7)内的底部,有一层紧密填充的氮化铝粉(3);圆筒底部的氮化铝粉上方依次是钨片(6)、有缝的钨环(5)和钨坩埚(4),并三者的中心都位于圆筒的中轴线上,其中钨片的直径与钨环、钨坩埚的外径相同,钨环有一条上下贯穿的缝,缝宽为0.5~1.5mm;圆筒(7)和钨坩埚(4)之间的空隙由氮化铝粉(3)紧密地填充,粉的顶部和钨坩埚的顶部相平齐;钨坩埚(4)上方依次是氮化铝圆环(2)和带孔的氮化铝圆板(1),氮化铝圆环的内径稍大于坩埚外径,氮化铝圆环和圆板的外径与圆筒的内径大小相同。 |
地址 |
518060 广东省深圳市南山区南海大道2336号深圳大学 |