| 发明名称 | 正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法以及电子部件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其含有(A)具有酚羟基的碱溶性树脂、(B)通过具有碳原子数为4～100的不饱和烃基的化合物进行了改性的酚醛树脂、(C)通过光生成酸的化合物、(D)通过加热使(A)成分和(B)成分交联的热交联剂、和(E)溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN102132212A | 申请公布日期 | 2011.07.20 |
| 申请号 | CN200980132590.0 | 申请日期 | 2009.09.02 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 松谷宽;上野巧;亚历山大·尼古拉;七海宪 |
| 分类号 | G03F7/023(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/023(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;李昆岐 |
| 主权项 | 一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)具有酚羟基的碱溶性树脂；(B)通过具有碳原子数为4～100的不饱和烃基的化合物进行了改性的酚醛树脂；(C)通过光生成酸的化合物；(D)热交联剂；(E)溶剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||