| 发明名称 | 紫外线照射装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种紫外线照射装置。以使尽可能地降低紫外线照射装置的管理负担，并且能够有效地向处理对象物照射紫外线。紫外线照射装置设置有：放电灯，其向处理对象物照射紫外线；以及气体提供单元，其向该放电灯和上述处理对象物之间的空间提供气体，上述气体提供单元构成为，包括：配置在上述放电灯的侧方的上述气体的喷出口；以及在上述处理对象物的存在侧的相反侧覆盖上述放电灯的周围空间的遮蔽体。 | ||
| 申请公布号 | CN102132384A | 申请公布日期 | 2011.07.20 |
| 申请号 | CN200980132822.2 | 申请日期 | 2009.09.18 |
| 申请人 | 株式会社杰士汤浅国际 | 发明人 | 广井和则;畑濑和也 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;B01J19/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张远 |
| 主权项 | 一种紫外线照射装置，设置有：放电灯，其向处理对象物照射紫外线；以及气体提供单元，其向该放电灯和上述处理对象物之间的空间提供气体，其中，上述气体提供单元构成为，包括：配置在上述放电灯的侧方的上述气体的喷出口；以及在上述处理对象物的存在侧的相反侧覆盖上述放电灯的周围空间的遮蔽体。 | ||
| 地址 | 日本国京都府 | ||