发明名称 流体供给系统、流体储存和分配系统及供给流体的方法
摘要 本发明公开了一种流体供给系统、流体储存和分配系统及供给流体的方法。该流体供给系统包括:基于衬件的流体储存和分配包装,所述包装包括适于容纳流体的衬件;气体源,被布置成从外部施加气体压力于衬件上,用于以压力为媒介从衬件分配流体;以及下述构件(a)和(b)之一:(a)压力传感器和处理器,其中,压力传感器适于感测从衬件分配的流体的压力,并产生指示所述压力的传感器输出,并且处理器适于接收传感器输出并确定所述流体的压力变化率;以及(b)监视器,适于监控从衬件分配的流体的压力变化率。
申请公布号 CN102126696A 申请公布日期 2011.07.20
申请号 CN201010609240.3 申请日期 2006.06.05
申请人 高级技术材料公司;东京毅力科创株式会社 发明人 约翰·R·金格里;丹尼斯·布雷斯托万斯基;凯文·T·奥多尔蒂;格伦·M·汤姆;柯克·米克尔森;马修·史密斯;唐纳德·D·韦尔;格雷格·纳尔逊;罗伯特·哈帕拉;鲁塞尔·奥贝格;蒂姆·霍伊特;贾森·杰罗尔德;凯文·内斯达尔;约翰·扬切克
分类号 B67D7/02(2010.01)I;B67D7/32(2010.01)I;B67D7/34(2010.01)I 主分类号 B67D7/02(2010.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 一种流体供给系统,包括:基于衬件的流体储存和分配包装,所述包装包括适于容纳流体的衬件;气体源,所述气体源布置成从外部施加气体压力于所述衬件上,用于以压力为媒介从所述衬件分配流体;以及下述构件(a)和(b)之一:(a)压力传感器和处理器,其中,所述压力传感器适于感测从所述衬件分配的流体的压力,并产生指示所述压力的传感器输出,并且所述处理器适于接收所述传感器输出并确定所述流体的压力变化率;以及(b)监视器,所述监视器适于监控从所述衬件分配的流体的压力变化率。
地址 美国康涅狄格州