功能薄膜部分的转移方法

摘要

一种将功能薄膜(1)部分从底板(100)上转移到基片上的方法，其包括形成槽(S1)，该槽穿过所述功能薄膜以及设置在功能薄膜和底板之间的分离膜(2)。分离膜部分(2p)随后与功能薄膜部分一起从底板上分离。在本方法的其他部分中，所述分离膜部分保护功能薄膜部分。根据一种改进，从底板上分离的功能薄膜部分包括有用部分(1p)和边缘(1m)，它们通过分离膜部分(2p)连接在一起。功能薄膜的有用部分(1p)可以通过边缘(1m)被抓取或操作。

主权项

一种用于将功能薄膜(1)部分转移到基片(200)上的方法，所述功能薄膜通过粘合结构(20)最初保持在底板(100)上，所述粘合结构(20)包括：‑分离膜(2)，‑第一胶层(3)，其将所述分离膜保持在所述底板上，以及‑第二胶层(4)，其将所述功能薄膜保持在所述分离膜上，所述方法包括以下步骤：/1/形成第一槽(S1)，其穿过围绕所述功能薄膜部分的功能薄膜(1)的厚度(e1)，从而将所述功能薄膜部分从所述功能薄膜的剩余部分中隔离，/2/将所述功能薄膜部分从所述底板(100)上分离，以及/3/露出由所述功能薄膜部分承载的第二胶层部分(4p)，并且通过所述功能薄膜部分将所述第二胶层部分应用到基片(220)上，以便将所述功能薄膜部分粘附到所述基片上，其特征在于：‑所述第一槽(S1)还穿过所述分离膜(2)的厚度(e2)，以便将与所述功能薄膜部分一起的所述分离膜部分(2p)从所述分离膜的剩余部分中隔离，以及‑通过所述第二胶层(4)将所述分离膜(2)固定在所述功能薄膜(1)上的固定要比通过所述第一胶层将所述分离膜(2)固定在所述底板(100)上的固定更强，这样，在步骤/2/中，所述功能薄膜部分与所述分离膜部分(2p)一起从所述底板(100)上分离，所述功能薄膜和分离膜的各自部分通过所述第二胶层部分(4p)牢固地固定在一起，以及在步骤/3/起始时，通过剥离所述分离膜部分(2p)使得所述第二胶层部分(4p)暴露于外，并且该方法还包括在所述第一槽(S1)和所述功能薄膜部分的有用部分(1p)之间形成第二槽(S2)，其形成在所述功能薄膜部分的至少一侧上，所述第二槽穿过所述功能薄膜的厚度(e1)，并且可能穿过所述第二胶层(4)的至少一部分，但不穿过所述分离膜的厚度(e2)，并且将所述功能薄膜部分的边缘(1m)从所述功能薄膜部分的所述有用部分中隔开，并且在步骤/3/起始时，通过所述功能薄膜部分的有用部分(1p)外的所述功能薄膜部分的所述边缘(1m)来抓住所述分离膜部分，将分离膜部分(2p)剥离。