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一种微观表面缺陷全自动紫外光学检测方法，其特征在于，其包括如下步骤：1)依次设置一自动上料系统、一精密定位系统、一紫外光学系统、一显微视觉系统、一图像采集系统、一图像处理系统及一自动卸料系统，并将其依次连接、使其彼此衔接并相互通讯，构成一检测系统；分别设定自动上料系统、精密定位系统、紫外光学系统、显微视觉系统、图像采集系统、图像处理系统及自动卸料系统的运行参数；所述的精密定位系统包括驱动模块、运动控制模块、位置信息反馈模块，其中运动控制模块中设置有运动速度、范围、步进距离参数调节单元；所述的紫外光学系统，包括紫外光线发射模块、散热模块、光线角度调整模块和亮度调整模块；所述的显微视觉系统包括一可将表面的质量缺陷特征放大的显微放大模块；2)所述自动上料系统启动，将待检测产品传送到显微视觉系统的工作区域内，由精密定位系统将其准确定位；所述的待检测产品为微细电子元器件、半导体芯片；3)紫外光学系统启动，对待检测产品的微观表面曲线特征进行照明，加强产品的微观表面缺陷特征信息，这些缺陷特征再经过显微视觉系统进行放大和加强处理；4)图像采集系统启动，显微视觉系统放大与加强处理后的信息，采集并传输到控制计算机；5)图像处理系统启动，对接收到的待测产品微观表面缺陷特征的图像信息进行分析和处理，包括对有缺陷的待测产品进行统计和报警；6)自动卸料系统启动，将检测完成的产品，自动卸料。 |
