压力调节器及减振装置

摘要

本发明提供一种即使在下游侧发生流量变动的情况下也可以高响应高精度地进行压力控制的压力调节器。压力调节器(1)通过伺服阀(11)来限制从气体供给源(10)供给的气体向等温压力容器(13)的流入流量，使等温压力容器(13)内的压力保持恒定。在此，操作伺服阀(11)的压力控制单元(计算机16)将对压力计(14)所测量出的等温压力容器(13)内的压力进行反馈控制的压力控制系统作为主环路，在该主环路内侧构成有：对流量计(12)所测量出的流入流量进行反馈控制的流入流量控制系统；根据流入流量和压力微分计(15)所测量出的等温压力容器(13)内的压力微分值来推测从等温压力容器(13)流出的流出流量的观测器；以及将所推测出的流出流量反馈至流入流量控制系统的模型跟踪控制系统。

主权项

一种压力调节器，其特征在于，该压力调节器具有：伺服阀，其限制从压缩性流体供给源供给的压缩性流体的流入流量；等温压力容器，其使经由上述伺服阀而流入的压缩性流体保持为等温状态；压力检测单元，其检测上述等温压力容器内的压缩性流体的压力；压力微分值检测单元，其检测上述等温压力容器内的压缩性流体的压力微分值；以及压力控制单元，其操作上述伺服阀，将等温压力容器内的压缩性流体控制为规定的压力，上述压力控制单元具有：压力控制系统，其对上述压力检测单元所检测出的压力进行反馈控制；流入流量控制系统，其对流入上述等温压力容器的压缩性流体的流入流量进行反馈控制；以及流出流量推测单元，其根据上述压力微分值检测单元所检测出的压力微分值来推测从上述等温压力容器内流出的压缩性流体的流出流量，上述压力控制单元构成有模型跟踪控制系统，该模型跟踪控制系统构成在上述压力控制系统的控制环路内侧，并将上述流出流量推测单元所推测出的流出流量反馈至上述流入流量控制系统。