基板清洗装置和方法

摘要

本发明提供基板清洗装置和方法，其特征在于，刷子相对于与基板移动方向垂直的方向倾斜配置，对基板进行清洗处理。按照所述的特征，可以提高基板的清洗效率，提高基板移动的安全性，并抑制清洗液向室外漏出。

主权项

一种对基板进行清洗的基板清洗装置，其特征在于包括：工序室，提供进行清洗工序的空间；基板传送单元，设置在所述工序室内，使基板移动；以及刷式清洗单元，包括清洗所述基板的刷子，所述刷子的长度方向相对于与所述基板移动方向垂直且与所述基板平行的方向以倾斜角θ1倾斜设置，其中，所述基板传送单元包括传送轴，它们相互并排配置，并分别设有多个与基板接触的传送辊，所述传送轴倾斜配置，相对于与所述基板移动方向垂直且水平的方向具有一定的倾斜角θ2。