能量色散X射线荧光光谱仪

摘要

一种能量色散X射线荧光光谱仪，包括：载物台，用于承载样品；X射线发生装置，用于发射一次X射线；探测器，用于探测样品受X射线照射时产生的荧光；控制系统，用于接收探测器探测到的样品产生的荧光，分析样品中的元素及含量；二次靶台，用于放置二次靶材，二次靶材受一次X射线照射时产生的二次X射线照射至样品。用X射线发生装置产生的一次X射线去照射二次靶材，用二次靶材在一次X射线的照射下产生的单色激发源照射样品，可以检测出样品中的低含量元素，可以达到用同一台仪器，一次测量就能完成对样品中高含量和低含量元素的测试，大大提高了测试的准确性和效率。

主权项

一种能量色散X射线荧光光谱仪，包括：载物台，用于承载样品；X射线发生装置，用于发射一次X射线照射至所述样品；探测器，用于探测所述样品受X射线照射时产生的荧光；控制系统，用于接收所述探测器探测到的所述样品产生的荧光，分析所述样品中的元素及含量，其特征在于，还包括：二次靶台，用于放置二次靶材，二次靶材在一次X射线的照射下产生的二次X射线照射至所述样品。