| 主权项 |
一种非真空湿式铜铟镓硒太阳电池制作方法，用以在非真空下以湿式方式制造铜铟镓硒太阳电池的第一透明导电氧化层、铜铟镓硒层与硫化镉层、氧化锌层及第二透明导电氧化层，其特征在于，该方法包括以下依序进行的步骤：对具有背面电极层的基板，利用第一透明导电氧化层形成装置，进行第一透明导电氧化层形成处理，该背面电极层位于基板上，且该基板底下是由多个滚轮支撑并向前带动，该第一透明导电氧化层形成处理包括混合处理、涂布层形成处理、烘干处理、实密化处理、热处理及切割处理，进而在该背面电极层上形成该第一透明导电氧化层；利用铜铟镓硒层与硫化镉层形成装置，进行铜铟镓硒层与硫化镉层形成处理，包括混合处理、涂布层形成处理、烘干处理、实密化处理、初级硫硒反应处理、热处理、杂相清除处理、后级硫硒反应处理及硫化镉层生长处理，藉以在该第一透明导电氧化层上依序形成铜铟镓硒层与硫化镉层；利用氧化锌层形成装置以进行氧化锌层形成处理，包括混合处理、涂布层形成处理、烘干处理、实密化处理、热处理及切割处理，进而在该硫化镉层上形成氧化锌层；以及利用第二透明导电氧化层形成装置，进行第二透明导电氧化层形成处理，包括混合处理、涂布层形成处理、烘干处理、实密化处理、热处理及切割处理，藉以在该氧化锌层上形成第二透明导电氧化层。 |
