发明名称 |
晶体管、制造该晶体管的方法及包括该晶体管的电子装置 |
摘要 |
本发明提供了一种晶体管、制造该晶体管的方法及包括该晶体管的电子装置。所述晶体管包括:沟道层;源极和漏极,分别接触沟道层的相对的两端;栅极,与沟道层对应;栅极绝缘层,位于沟道层和栅极之间;第一钝化层和第二钝化层,顺序地设置在栅极绝缘层上。第一钝化层覆盖源极、漏极、栅极、栅极绝缘层和沟道层。第二钝化层包含氟(F)。 |
申请公布号 |
CN102130177A |
申请公布日期 |
2011.07.20 |
申请号 |
CN201010569845.4 |
申请日期 |
2010.11.30 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
金善日;朴宰彻;金尚昱;朴永洙;金昌桢 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 |
代理人 |
韩明星;李娜娜 |
主权项 |
一种晶体管,所述晶体管包括:沟道层;源极和漏极,分别接触沟道层的相对的两端;栅极,与沟道层对应;栅极绝缘层,位于沟道层和栅极之间;第一钝化层,覆盖源极、漏极、栅极、栅极绝缘层和沟道层;第二钝化层,包含氟且位于第一钝化层上。 |
地址 |
韩国京畿道水原市 |