一种RH真空环流控制方法及装置

摘要

本发明公开了一种RH真空环流控制方法及装置，该控制方法包括：计算各路环流支管上的流量变送器的流量检测值之和；以环流总管流量设定值为设定输入、以所述流量检测值之和为过程反馈输入进行PID运算得到主输出开度值；将所述主输出开度值分配给多个支路PID控制器作为各路环流支管的支路流量设定值。该控制装置与控制方法对应。使用本发明能够及时准确地跟踪环流总管的设定流量值，缩短响应时间，减少动态偏差和稳态偏差，更好的满足工艺需求，从而保证产品的品质。

主权项

一种RH真空环流控制方法，包括以各路环流支管的支路流量设定值为设定输入、以各路环流支管上的流量变送器的流量检测值为过程反馈输入的多个支路PID控制器分别对各路环流支管上的流量阀进行控制，其特征在于，还包括：计算各路环流支管上的流量变送器的流量检测值之和；以环流总管流量设定值为设定输入、以所述流量检测值之和为过程反馈输入进行PID运算得到主输出开度值；将所述主输出开度值分配给所述多个支路PID控制器作为各路环流支管的支路流量设定值。