基材处理设备和在该设备中转移基材的方法

摘要

本发明提供一种基材处理设备，其包括多个处理室、缓冲单元和转移件。该转移件在该处理室和该缓冲单元之间转移基材，并收集在同时完成处理的至少两个处理室中处理过的基材，从而将处理过的基材一次转移到该缓冲单元。因此，该转移件转移基材期间的时间长短减小，使得该基材处理设备缩短了处理时间并提高了生产性。

主权项

一种基材处理设备，包括：多个处理室，在每个处理室中处理基材；缓冲单元，储存将要在所述处理室中装载的基材和在所述处理室中处理过的基材；和转移件，包括多个水平可动的拾取手，基材分别放置在各拾取手上，所述转移件在所述处理室和所述缓冲单元之间转移基材，所述转移件收集在同时完成处理的至少两个处理室中处理过的基材，从而将处理过的基材一次转移到所述缓冲单元。