图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法和系统

摘要

本发明涉及一种图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法，其中包括步骤：S1、对显影后的衬底进行烘烤处理，将衬底表面的光刻胶作为刻蚀的掩膜；S2、设定刻蚀腔的温度和真空度、屏蔽罩的温度以及冷却循环机的控制温度后，将烘烤处理后的衬底放入刻蚀腔中的载片基台上；S3、通入刻蚀气体，通过阳极射频源功率和偏压射频源功率控制刻蚀速度和质量；同时通过冷却循环机对载片基台进行冷却，每个片槽通入氦气对衬底进行冷却；S4、刻蚀完毕后将刻蚀后的衬底取出。本发明还涉及一种图形化蓝宝石衬底的刻蚀系统，本发明无需用蒸镀硬掩膜，直接用光刻胶做掩膜，能做出精细的刻蚀图形，采用低温刻蚀解决了刻蚀过程中出现的光刻胶碳化、图形高温变形等问题。

主权项

一种图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法，其特征在于，包括步骤：S1、对显影后的衬底进行烘烤处理，将衬底表面的光刻胶作为刻蚀的掩膜；S2、设定刻蚀腔的温度和真空度、屏蔽罩的温度以及冷却循环机的控制温度后，将烘烤处理后的衬底放入刻蚀腔中的具有多个片槽的载片基台上；S3、通入刻蚀气体，通过阳极射频源功率和偏压射频源功率控制刻蚀速度和质量；同时通过所述冷却循环机对所述载片基台进行冷却，每个片槽通入氦气对所述衬底进行冷却；S4、刻蚀完毕后将刻蚀后的衬底取出。