多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法，将U形炭纤维坯体进行高温纯化预处理后沉积，热处理温度为1600～2800℃；将U形炭纤维坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行裂解增密制备出炭/炭复合坯体，裂解温度850～1200℃，时间100～400h，炉内气压0.5kPa～2.5kPa；将增密至一定密度的炭/炭复合坯体进行机加工，酸洗+氯盐洗，进行高温纯化处理，处理温度为2000～2800℃；将炭/炭复合坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行表面涂层处理，裂解温度900～1300℃，时间10～100h，炉内气压1.0kPa～4.0kPa；并测定炭/炭复合材料发热体成品的技术指标。本发明能制备出纯度高、电阻率随温度变化稳定、使用寿命长的大尺寸异形薄壁炭/炭复合材料发热体。

主权项

一种多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法，其特征是：包括以下步骤：(1)、将聚丙烯腈基炭纤维针刺整体毡按设计要求编织成U形炭纤维坯体，将U形炭纤维坯体放在已经过高温纯化处理的石墨工装上以保持其形状；(2)、将U形炭纤维坯体和工装一起进行高温纯化预处理后沉积，热处理温度为1600～2800℃；(3)、将U形炭纤维坯体和工装共同放入化学气相渗透炉中，以高纯N2为载气和稀释气体、经净化处理的C3H6为炭源气体，混合后通入高温渗透炉内进行裂解增密制备出炭/炭复合坯体，裂解温度850～1200℃，时间100～400h，炉内气压0.5kPa～2.5kPa；(4)、将增密至一定密度的炭/炭复合坯体进行机加工，酸洗+氯盐洗，然后进行高温纯化处理，处理温度为2000～2800℃；(5)、将加工好的炭/炭复合坯体放入化学气相沉积炉中，以高纯N2为载气和稀释气体、经净化处理的C3H6为炭源、混合后通入沉积炉内进行表面涂层处理，裂解温度900～1300℃，时间10～100h，炉内气压1.0kPa～4.0kPa；(6)、测定炭/炭复合材料发热体成品的技术指标。