| 摘要 |
Импульсный микросистемный акселерометр, содержащий подвижный узел, выполненный в виде электрода-маятника в пластине из кристаллического кремния и соединен с пластиной упругими подвесами, с обеих сторон кремниевой пластины жестко приварены обкладки, на которых нанесены неподвижные проводящие электроды двух типов: электроды датчика перемещений и силовые электроды электростатического датчика момента, триггер защелки, регистр памяти, реверсивный счетчик, генератор стабильной частоты и первое ключевое устройство, электроды датчика перемещений включены на вход знакового устройства, три выхода которого соединены с электрической схемой акселерометра, первый выход соединен со входом установки нуля реверсивного счетчика, а также со входом установки нуля регистра сдвига и несет информацию о нахождении маятника в нейтральном положении, второй выход знакового устройства несет информацию о положении маятника слева относительно нейтрального положения и соединен со входом установки в нуль триггера защелки, а со входом установки в единицу триггера защелки соединен третий выход знакового устройства, несущий информацию о положении маятника справа относительно нейтрального положения, выходы триггера защелки соединены со входами управления режимами реверсивного счетчика, вход ключевого устройства подключен к источнику опорного напряжения, отличающийся тем, что электрод-маятник выполнен несимметричным относительно оси качания, кроме того, в заявляемый акселерометр введено второе ключевое устройство, первый и второй инверторы, двухразрядный регистр сдвига, счетный триггер и регистр памяти, первый и второй в� |
